氟膠板永久變形由于O型圈密封圈用的合成橡膠材料是屬于粘彈性材料，所以初期設(shè)定的壓緊量和回彈堵塞能力經(jīng)長時間的使用，會產(chǎn)生永久變形而逐漸喪失，發(fā)生泄漏。永久變形和彈力消失是O型圈失去密封性能的主要原因，以下是造成永久變形的主要原因。

　　低Outgassing?特性???

　　?優(yōu)異之抗Plasma特性???

　　缺點：??

　　耐低溫特性較差???

　　原料價格較高?? ??

　　生產(chǎn)難度較高??全氟系列產(chǎn)品廣泛地運用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)及信息相關(guān)產(chǎn)業(yè)所運用,?運用范圍包含薄膜制程中之PVC,?CVD及蝕刻制程及各種高真空密封制程。???

　　12,丙烯酸酯橡膠ACM??

　　(Polyacrylate?Rubber)?由?Alkyl?Ester?Acrylate?為主成份聚合而成之彈性體，耐石化油、耐高溫、耐候性均佳，在機械強度、壓縮變形率及耐水性方面則較弱，氟膠板比一般耐油膠稍差。一般使用溫度范圍為?-25~170?℃。???